方案介紹：
附著在基底上的薄膜表面進行反射測試時，會出現(xiàn)一副干涉條紋的圖樣，配置合適的測試方案，通過特定測試軟件，可以計算出薄膜的厚度。
薄膜測量系統(tǒng)是基于白光干涉的原理來確定光學(xué)薄膜的厚度。測試得到白光干涉圖樣后，再進行數(shù)學(xué)運算計算出薄膜厚度。
對于單一類型的膜層來說，如果已知薄膜的n和k值就可以計算出它的物理厚度。
將光纖光譜儀與光纖探頭在生產(chǎn)線上構(gòu)建實時測量系統(tǒng)，可為高精度工件加工線上質(zhì)量監(jiān)測和工業(yè)鍍膜過程提供了一種靈活方便的測量手段。
薄膜測量主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓工業(yè)，此時需要監(jiān)控等離子刻蝕和沉積過程，還可以用于其它在金屬和玻璃基底上鍍制透明膜層的測量領(lǐng)域。
